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參數(shù)：
儀器尺寸：主機(jī)300mm×360mm×380mm（W×D×H）
蒸鍍 300mm×360mm×160mm（W×D×H）
真空樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×110mm（D×H）
靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）
濺射靶材：Au
濺射靶材大小：φ50mm
樣品臺：樣品臺尺寸可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺，樣品臺可調(diào)節(jié)高度。也可根據(jù)自身要求定制樣品臺
濺射工作電壓：0-1600V (DC)可調(diào)
濺射電流：0-50mA
濺射定時：0-360S
蒸碳電流0-100A(AC)
蒸發(fā)材料：碳纖維
蒸發(fā)工作電壓：0-30V
可通入氣體：多種
輸入電壓：220V(可做110V),50HZ
真空泵：2升機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵（國產(chǎn)VRD-8）
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第1年
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