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普通會(huì)員
參數(shù):
主機(jī)規(guī)格:300mm×360mm×380mm(W×D×H)
靶(上部電極):50mm×0.1mm(D×H)
靶材:Au(標(biāo)配)也可根據(jù)實(shí)際情況配備銀靶、鉑靶等。
樣品室:硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm(D×H)
樣品臺(tái)尺寸:可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺(tái),也可根據(jù)自身要求定樣品臺(tái)
靶材尺寸:Ф50mm
真空指示表:最高真空度:≤ 4X10-2 mbar
離子電流表:最大電流:50mA
定時(shí)器:最長時(shí)間:0-360S
可通入氣體:多種
最高電壓:-1600 DCV
機(jī)械泵:標(biāo)準(zhǔn)配置2L/S(國產(chǎn)VRD-8)
輸入電壓:220V(可做110V),50HZ
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