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安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用. | |
1、水：不需要 | ||
2、電：AC220V50Hz,必須有良好接地 | ||
3、氣：設備腔室內需充注氣氣（純度99.99%以上），需自備氛氣氣瓶（帶壓減閥） | ||
4.工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上 | ||
5、通風裝置：不需要 | ||
主要參數 | 1、輸入功率：110V/220V通用2000W(含真空泵) | |
2、輸出功率：1600VDC50mA(最大電流) | ||
3、石英置：0160mm×120mm | ||
4、樣品臺：050mm(可選購加熱型樣品臺，最高溫度可到500℃：最長濺射時間不可超過5min) | ||
7、靶材：尺寸直徑047mm,厚度0.1mm-3Mm;可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni | ||
產品規格 | 尺寸：360mm×350mm×3600mm; | |
重量：50kg | ||
可選配件 | 1、KF25真空接口、卡箍 | |
2、不銹鋼波紋管(600mm) | ||
3、旋片式真空泵(120L/M) | ||
4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 | ||
5、加熱型樣品臺 |
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