- X,Y,Z?行程?(mm):
- 450 x 450 x 150 mm
XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um (E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺)
Z 線性精度: E1=(1.8+5L/1000)um (E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可選5X鏡頭)
| 英制單位 | 公制單位 |
測量范圍(Summit 450) | 18" X18"X6" | 450X450x150mm |
測量范圍(Summit 600) | 18" X24"X6" | 450X600x150mm |
測量范圍(Summit 800) | 30" X31"X6" | 760X800x150mm |
尺寸(Summit 450/600) | 40" X65X76" | 1016X1650X1930mm |
尺寸(Summit 800) | 56" X74.2X76" | 1422X1884X1930mm |
負載能力 | 50kg |
分辨率 | 0.1um (可選 0.04umX-Y) |
光學 | 雙重放大 (物鏡X) |
| 低 | 0.8 | 1.0 | 2.5 | 5.0 | 10.0 | 25.0 |
| 高 | 3.2 | 4.0 | 10.0 | 20.0 | 40.0 | 100.0 |
標準物鏡 | 2.5X |
可選物鏡 | 0.8X,1.0X,5X,10X |
照明 | LED 背光,LED 同軸面光 |
可選特征 | 多色可編程環形光源 |
| Ronchi 柵格自動ju jiao |
| TTL激光 |
| 光譜探針 |
| 旋轉工作臺 |
| 兆像素數碼相機 |
| 高速測量和連續圖像獲取 |
特征:
- 測量范圍:450 x 450 x 150 mm或 450 x 600 x150 mm
- 50公斤承載力
- 亞微米的光柵尺分辨率
- 平臺移動速度X-Y:200 mm/秒; Z:100 mm/秒
- 可選的X-Y無阻力線性馬達驅動,平臺速度400 mm/秒
- 誤差映射:在XY平面非線性二維糾錯
- 雙重放大光學系統,固定鏡頭,內部放大1-4倍
- 可編程LED平臺背光及同軸表面光照明
- 可編程多色(紅、藍、綠、復合白色)環形燈(PRL)選項
- TTL激光選項,具有自動ju jiao和掃描功能
- 三角和共焦激光位移傳感器選項
- SpectraProbeTM 高分辨率彩色傳感器選項
- 好的圖像處理性能,快速、精確、穩健
- 雙通道,數字式,1.4兆像素的單色相機; 4:1的比例
- 次像素精度: 1/10 - 1/50 pixel
- 獨立的Anthro Cart Operator工作站,90 x 90 x128 cm;40kg
- 可選配一體式可調節高度的工作站活動臂及平臺,上可放置平板顯示器、鍵盤鼠標及周邊設備
- 強大的測量軟件和數據分析工具可供選擇
- 平均無故障工作時間 MTBF ≥ 8,000 小時
Summit的應用范圍包括:
半導體/電子
PCB板與Stencil
光罩
引線框,引線接合,柔性線路板,連接器
SMT元件貼裝
錫膏/環氧數脂膠點
xin片載體和托盒
噴墨打印機墨盒
數據存儲
磁盤介質基板
滑塊和懸臂組(HGA)
Wafer carriers and row bar pallets
精密注塑和機加工件
模具和刀具
醫療設備
燃料噴射部件
手表組件