MKS AA08A 壓力傳感器規(guī)格

• 配置

  流通

• 測量類型

  絕對

• 滿量程壓力

  1000 托至 3000 磅/平方英寸

• 準確性

  閱讀的 1.0%

• 零溫度系數(shù)

  滿量程的 0.02%/°C，50 psia 至 3000 psia
  滿量程的 0.04%/°C，1000 Torr

• 跨度溫度系數(shù)

  讀數(shù)的 0.04%/°C，50 psia 至 3000 psia
  讀數(shù)的 0.08%/°C，1000 Torr

• 超壓限制

  1.5 x 滿量程，范圍從 1000 Torr 到 500 psi
  1.2 x 滿量程，范圍從 501-3000 psi

• 爆破壓力

  10 x 滿量程，范圍從 1000 Torr 到 500 psi
  5 x 滿量程，范圍從 501-3000 psi

• 潤濕表面

  Incoloy?

• 表面處理

  ≤5μ in Ra

• 電源要求

  13 至 32 VDC @ 10 mA 最大值

• 環(huán)境工作溫度

  0° 至 50°C

  
  

MKS AA08A 壓力傳感器特征

Baratron? 電容壓力計技術(shù)

電容壓力計是可以測量壓力和真空的機電儀表。電容計將薄膜中的壓力調(diào)制運動轉(zhuǎn)換為與壓力成正比的電信號。壓力傳感器是一個薄膜，它暴露在通過入口管測量的壓力或真空中。電極安裝在隔膜后面的參考腔中。工藝腔和參比腔之間的壓力差使隔膜輕微偏轉(zhuǎn)，從而改變它與電極之間的距離。該距離的變化會導(dǎo)致隔膜和電極之間的電容發(fā)生變化，從而產(chǎn)生與壓力變化成正比的電信號。

使用 Baratron? 電容壓力計進行氣體獨立壓力測量。示意圖顯示了內(nèi)部組件和功能區(qū)。

閱讀準確率百分比

精度被指定為讀數(shù)的百分比，而不是在一些低性能設(shè)備中看到的滿量程。讀數(shù)精度百分比為您在壓力范圍的較低刻度內(nèi)提供更準確的輸出信號，這是最需要的。

非常適合超純氣體輸送系統(tǒng)

AA07A/AA08A 傳感器非常適用于將超純氣體輸送到關(guān)鍵工藝系統(tǒng)的輸送系統(tǒng)。它們暴露在氣流中的潤濕表面的光潔度優(yōu)于 5 μin Ra。這些換能器表現(xiàn)出卓越的干燥特性，并且不會產(chǎn)生高于背景的顆粒。在制造和組裝之后，在 100 級環(huán)境中進行雙重裝袋之前，它們會用超凈氮氣吹掃。

全 Incoloy? 結(jié)構(gòu)

AA07A/AA08A 中傳感器的全 Incoloy? 結(jié)構(gòu)允許高過壓容差，從而減少由于管線壓力尖峰引起的錯誤。高爆破壓力等級有助于整體系統(tǒng)安全。在現(xiàn)有的氣柜和過程系統(tǒng)上，由于這些傳感器的尺寸小、符合行業(yè)標準的端到端長度和電氣接口選擇，因此可以輕松地現(xiàn)場更換普通千分表或性能較低的傳感器。

可選的本地顯示

可選的本地集成顯示器可提供傳感器管線壓力的數(shù)字讀數(shù)。該顯示器可用于具有 0-10 VDC 輸出信號的 1000 Torr、100 和 250 PSIA 范圍，提供高度可見的紅色 LED 壓力和測量單位顯示。顯示器還可以切換為顯示四種不同單位（PSIA、Torr、bar 和 kPa）中的任何一個，而無需重新校準或重新調(diào)整傳感器本身的量程。它從輸入的傳感器電壓中獲取能量，因此不需要額外的電纜。