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廣州利勃機(jī)電股份有限公司 會(huì)員等級(jí):普通會(huì)員 經(jīng)營(yíng)范圍:通用設(shè)備制造業(yè)(具體經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目請(qǐng)登錄廣州市商事主體信息公示平臺(tái)查詢。依法須經(jīng)批... 所在地區(qū):廣東/廣州市
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離子濺射儀噴金儀
詳細(xì)信息 儀器多機(jī)尺寸:長(zhǎng)610mmX竟420mmX言220mm(注:含腔體總高490mm) 工作腔室尺寸::金篇腔體:直徑260mmX高270mm(外尺寸) 直徑210mmX高270mm(內(nèi)尺寸) 靶材尺寸:室徑50mmX罩3mm(圖契材材質(zhì)不司星度有所不司) 靶材料:標(biāo)配一雜直徑50mmX03mm的金起(可渡射弱磁性金屬膜) 靶槍冷卻方式:水冷 真空系統(tǒng):抗沖擊渦輪分子泵,抽速為300L/s 前級(jí)機(jī)械泵:抽速為4L,帶防返油電磷閥及油污拉濾器 真空測(cè)量:采用復(fù)合真空計(jì)些測(cè)真空 極限真空度:5×10Pa(10分鐘可到5×10Pa) 電源:官流恒流電源: 翰入克壓:220W 輸出電壓:0-600r可話 輸出電流(沉積電流):0-1.6A可調(diào) 教樣臺(tái):旋裝臺(tái)(直徑尺寸用戶可選,最大不能超過(guò)中150mm) 工作氣體:Ar箋管性氣體(警自備氣瓶及減壓閥) 氣路:誰(shuí)射喜空度手動(dòng)道整 沉積速寶:0-200nm 水冷:自循環(huán)冷卻水機(jī) 電源電壓:220V50Hz 啟動(dòng)功室:3KW 保修:貳年 儀器多機(jī)尺寸:長(zhǎng)610mmX竟420mmX言220mm(注:含腔體總高490mm) 工作腔室尺寸::金篇腔體:直徑260mmX高270mm(外尺寸) 直徑210mmX高270mm(內(nèi)尺寸) 靶材尺寸:室徑50mmX罩3mm(圖契材材質(zhì)不司星度有所不司) 靶材料:標(biāo)配一雜直徑50mmX03mm的金起(可渡射弱磁性金屬膜) 靶槍冷卻方式:水冷 真空系統(tǒng):抗沖擊渦輪分子泵,抽速為300L/s 前級(jí)機(jī)械泵:抽速為4L,帶防返油電磷閥及油污拉濾器 真空測(cè)量:采用復(fù)合真空計(jì)些測(cè)真空 極限真空度:5×10Pa(10分鐘可到5×10Pa) 電源:官流恒流電源: 翰入克壓:220W 輸出電壓:0-600r可話 輸出電流(沉積電流):0-1.6A可調(diào) 教樣臺(tái):旋裝臺(tái)(直徑尺寸用戶可選,最大不能超過(guò)中150mm) 工作氣體:Ar箋管性氣體(警自備氣瓶及減壓閥) 氣路:誰(shuí)射喜空度手動(dòng)道整 沉積速寶:0-200nm 水冷:自循環(huán)冷卻水機(jī) 電源電壓:220V50Hz 啟動(dòng)功室:3KW 保修:貳年 共0條 相關(guān)評(píng)論 |