參數：

儀器尺寸：305mm×400mm×390mm（W×D×H）

真空樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×110mm（D×H）

靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）

濺射靶材：Au（標配），也可根據實際情況配備銀靶、鉑靶等。

濺射靶材大小：φ50mm

樣品臺：樣品臺尺寸可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺，也可根據自身要求定制樣品臺

濺射工作電壓：0-1600V (DC)可調

濺射電流：0-50mA

濺射定時：0-360S

蒸碳電流0-100A(AC)

蒸發材料：碳纖維

蒸發工作電壓：0-30V

蒸發時間：0-1S

微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

可通入氣體：多種

輸入電壓：220V(可做110V),50HZ

真空泵：2升機械旋轉泵（國產VRD-8）