參數：

1.主機規格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）

2.靶（上部電極）：金：50mm×0.1mm（D×H）

3.靶材：Au（標配）

4.樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）

5.靶材尺寸：Ф50mm

6.真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar

7.離子電流表： 最大電流：50mA

8.定時器：最長時間：1-360s

9.微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

10.可通入氣體： 多種

11.最高電壓： -2800 DCV

12.機械泵：標準配置2L/S（國產VRD-8）