外形尺寸

424*265*260MM

輸入電壓

220V/50Hz

濺射電壓

600V

工作原理

磁控濺射

最大功率

4507

靶材尺寸

057*0.12MM (AU)

可選靶材

金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬靶材

真空泵

直連式兩級旋片式真空泵1心/S

真空室

0128*130MM高強度玻璃

極限真空

1PA(電阻式真空規)

抽氣節拍

≤90S

樣品杯

00樣品杯1個/025樣品杯4個/15樣品杯6個

樣品室進氣

自動：高精度微量進氣閥

進氣接頭

O4快擰接頭（外徑4M,內徑2.5MM氣管)

江作電流

5-45MA任意可調

顆粒大小

6-10NM

保護功能

過流保護、真空保護